Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
Initialising ...
倉田 博基
Ultramicroscopy, 78(1-4), p.233 - 240, 1999/00
被引用回数:5 パーセンタイル:42.96(Microscopy)透過電顕に結像型分析機能を複合した、いわゆるエネルギーフィルター電顕法は、高い空間分解能と軽元素のマッピングに有利などの特性を生かして、現在広い分野で利用され始めている。本研究では、このマッピング手法を超高圧電子顕微鏡に適用した場合のメリットについて検討した。その結果以下の点を明らかにした。(1)入射電子エネルギーが高いと、非弾性散乱電子によるマッピングでは対物レンズの色収差による分解能の劣化を受けにくく、高分解能観察に有利である。(2)超高圧電顕では、電子の非弾性散乱過程における相対論効果が顕著になり、その結果、高い空間分解能を維持した測定条件で、非弾性散乱強度の検出効率が向上するため、マッピングの感度が高くなる。(3)定量マッピングに適した試料厚さに対する制限が緩和され、よりバルクな情報を得ることができる。
倉田 博基
日本結晶学会誌, 39(6), p.416 - 425, 1997/00
近年、透過電子顕微鏡を用いて、試料の局所分析を行う手法が活発に研究されている。なかでも、電子エネルギー損失分光法を複合した分析電顕では、ナノメートルオーダーの空間分解能で、局所元素分析や状態分析を行えるまでに進展した。更に、電顕の結像機能を積極的に利用して、特定元素の空間分布を可視化するマッピング技法も、エネルギーフィルター電子顕微鏡により可能となった。本総説では、エネルギーフィルター電顕法の原理を解説し、元素マッピング等の材料科学への応用について概説した。特に、元素マッピングの性能を決定する、フィルター像の空間分解能についても論じた。